Lam Research

Lam Research — американская компания, специализирующаяся на разработке и производстве оборудования для полупроводниковой промышленности, в частности для процессов травления, осаждения тонких плёнок и очистки пластин. Компания является одним из крупнейших поставщиков технологий для производства интегральных схем (чипов) наряду с Applied Materials и Tokyo Electron.

История

Компания основана в 1980 году Дэвидом Лэмом (David Lam) и Роджером Резником (Roger Resnick) в городе Фримонт, штат Калифорния. Первоначально компания сосредоточилась на разработке оборудования для плазменного травления, которое стало ключевой технологией в производстве полупроводников. В 1984 году Lam Research вышла на биржу NASDAQ (тикер LRCX).

В 1990-е годы компания расширила портфель продуктов, включив в него системы для химического осаждения из газовой фазы (CVD) и физического осаждения из газовой фазы (PVD). В 2008 году Lam Research приобрела компанию SEZ Group, специализировавшуюся на оборудовании для очистки пластин. В 2012 году произошло слияние с Novellus Systems, что позволило объединить технологии осаждения и травления.

В 2020-х годах компания активно инвестировала в разработку оборудования для производства чипов с нормами 3 нм и ниже, а также в технологии для 3D-структур, таких как NAND-память с вертикальной архитектурой.

Продукция и технологии

Оборудование для травления

Lam Research производит системы для реактивного ионного травления (RIE) и плазменного травления, используемые для создания транзисторов, межсоединений и других структур на кремниевых пластинах. Ключевые серии: Kiyo (для травления проводников) и Flex (для диэлектриков).

Оборудование для осаждения

Компания предлагает системы для:

• Химического осаждения из газовой фазы (CVD) — серия Vector.
• Физического осаждения из газовой фазы (PVD) — серия Endura.
• Атомно-слоевого осаждения (ALD) — серия Altus.

Оборудование для очистки

Системы серии SP (например, SP-300) используются для удаления загрязнений, остатков фоторезиста и частиц с поверхности пластин после этапов травления и осаждения.

Технологии для 3D-структур

Lam Research разрабатывает оборудование для создания вертикальных каналов в NAND-памяти, что позволяет увеличивать плотность хранения данных. Технология включает глубокое реактивное ионное травление (DRIE) и осаждение изолирующих слоёв.

Применение

Оборудование Lam Research используется в производстве:

• Логических микросхем (процессоры, графические чипы) — для создания транзисторов и межсоединений.
• Памяти (DRAM, NAND, 3D NAND) — для формирования ячеек памяти и управляющих структур.
• Сенсоров — для микроэлектромеханических систем (MEMS).
• Светодиодов — для травления и осаждения слоёв в полупроводниковых светодиодах.

Рынок и конкуренты

Lam Research входит в тройку крупнейших мировых поставщиков оборудования для производства полупроводников наряду с Applied Materials (США) и Tokyo Electron (Япония). По данным на 2023 год, выручка компании составила около 17,5 миллиардов долларов США. Основные клиенты — TSMC, Samsung Electronics, Intel, SK Hynix, Micron Technology.

Компания имеет производственные мощности в США (Калифорния, Орегон), а также в Малайзии, Сингапуре и Тайване. Научно-исследовательские центры расположены в США, Японии, Южной Корее и Тайване.

Критика и ограничения

В 2022 году Министерство торговли США ввело ограничения на экспорт оборудования для производства полупроводников в Китай, что затронуло и Lam Research. Компания была вынуждена приостановить поставки некоторых систем китайским клиентам, включая Yangtze Memory Technologies (YMTC). В 2023 году Lam Research объявила о сокращении 1300 рабочих мест (около 7% персонала) в связи с падением спроса на рынке полупроводников.

В 2024 году компания подверглась критике со стороны экологов за высокое потребление воды и энергии в производственных процессах, а также за использование химических веществ, требующих утилизации.

Интересные факты

• Компания Lam Research является одним из крупнейших работодателей в округе Аламеда (Калифорния).
• В 2023 году компания получила патент на технологию атомно-слоевого травления (ALE) для создания структур с точностью до одного атомного слоя.
• Lam Research активно участвует в программах по переработке кремниевых пластин и сокращению отходов производства.

Источники

• Официальный сайт Lam Research (lamresearch.com)
• Годовой отчёт Lam Research за 2023 год
• Статья «Lam Research» в энциклопедии Britannica
• Отчёты аналитических агентств Gartner и IDC по рынку полупроводникового оборудования
• Публикации Министерства торговли США об экспортных ограничениях (2022–2023)